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공정 최적화를 이끄는 ELC의 고정밀 솔루션
merit100
Ultrasonic Flowmeter
Comprehensive Solutions Liquid Flowmeter
종합 솔루션 Ultrasonic Flowmeter는 반도체 및 산업용 비접촉식 유량계입니다.
주요특징 Feature
- 반도체 및 산업용 고정밀 초음파 유량계
- RS-485(Modbus) 통신에 따른 다채널 유량 모니터링 가능
- 전원 분리 Noise Filtering, EMC/RFI 차폐를 통한 제품 안정성 확보
- DIW 및 Chemical 전반 계측 가능 (질산, 황산, 과산화수소, 불산, 암모니아수, SC-1 등)
- 최대 6채널 유량계 지원으로 설치 공간 최적화
주요기능 Function
- 목표 유량 값에 대한 순시 유량 및 적산 유량 값 계측
- 초음파 파형 모니터링을 통해 유량계 상태 진단 가능
- Maintenance Program을 통한 최적화 Tuning 및 다양한 응용 기술 지원
변환기(AMP)구성 AMP Type
MERIT100 (기본형)
- 외부 출력 기능 지원
- 7-Segment 4-Digit Display 지원
MERIT100S (슬림형)
- 슬림형 컨트롤러 구성 (외부 출력 기능 제외)
- DIN Rail 장착 구조
- OLED Display
제품 사양 Product Specifications
변환기(AMP) 사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 전압 | DC+24V(±10%) |
| 온도 | 0~50°C |
| 소비 전류 | 약 25.2W(6채널) |
| 방수 구조 | IP20 |
| 통신 규격 | RS-485(MODBUS) |
| 무게 및 제품 사이즈(mm) | MERIT100 : 293g(6채널) / 50(W) ⅹ 126(D) ⅹ79.5(H) |
| MERIT100S : 164g(6채널) / 27(W) x 129(D) x 88(H) | |
| 무게 | 293g(6채널) |
| 인증(CE) | EN 61326. 55011 |
검출기(Detector) 사양
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 측정 대상 | 액체 전반 |
| 유체 온도(°C) | 10 ~ 90°C(고온 사양은 별도 문의) |
| 유체 압력(Mpa) | 0 ~ 0.35Mpa(내압 0.5Mpa) |
| 음파 범위 | 1000~2200m/Sec |
| 방수 구조 | IP 65 |
| Body & Tube 재질 | PFA |
| 표준 튜브면적 | 1/4 inch, 3/8 inch, 1/2 inch, 3/4 inch |
| 표준 Cable 길이 | (중계) : 2M, 3M, 5M |
유량범위(Flow Range) 및 정밀도(Accuracy)
| 구분 | A20(1/4”) | A50(3/8”) | A200(1/2”) | A500(3/4”) | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
| Fluid | Chemical, Slurry, DIW | ||||
| 유량 범위 | 0.02 ~ 2.5 | 0.1 ~ 5.0 | 0.5 ~ 20 | 1 ~ 50 | L/min |
| 최소 Unit | 1 mL/min | 10 mL/min | |||
| Tube | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 외경(내경)mm |
| Accuracy | 0.02 ~ 0.3(±3) | 0.1 ~ 0.6(±6) | 0.5 ~2.0(±20) | 1.0 ~ 5.0(±50) | L/min(mL/min) |
| 0.3 ~ 2.5(±1%) | 0.6 ~ 5.0(±1%) | 2.0 ~ 20(±1%) | 5.0 ~ 50(±1%) | of RD | |